Chùa Tây Phương được xây dựng lần đầu vào đời Cao Biên (865-875). Sang niên hiệu Chính Hòa (1680-1705), Tây Vương Trịnh Tạc cho sửa lại chùa và xây thêm tam quan. Sau khi trùng lặp tu này, chùa đã được phát hiện. Đến triều Tây Sơn, vào năm 1788, 1789, chùa được xây dựng lại trên nền cũ, tọa lạc tại núi Tây Phương, xã Thạch Xá, huyện Thạch Thất, Tỉnh Hà Tây (cũ). 

Chùa được xây dựng hình chữ Tam với 3 tòa nhà, mỗi tòa nhà có 2 tầng, 8 mái và 8 đầu đao cong vút, trong đó tòa nhà ở giữa cao hơn nhưng lại nhỏ hơn so với tòa thượng và tòa hạ tầng. Nội thất của các công trình đều được chiếu sáng vì các công trình xây dựng có chiều cao tới 1,6m. Các tòa nhà được xây dựng bằng gạch hình chữ Công, còn các cửa phước lành được xây dựng theo kiểu bán âm bán dương. Các bô, cột, xà trong chùa đều được trang trí rồng, phượng, hoa, lá bằng kỹ thuật nhấn hoặc còn gọi là cánh nông.

Chùa có 72 pho tượng, được sử dụng gỗ mít sơn sơn thếp vàng. Nhiều pho tượng cao hơn người thật như 8 tượng Kim Cương và Hộ Pháp, cao nhẹ 3m, trang béo Phúc hậu. Phần lớn các biểu tượng đều được coi là có niên đại cuối thế kỷ 18. Một số biểu tượng khác được viết vào giữa thế kỷ 19.

Hệ thống biểu tượng ở chùa Tây Phương bao gồm:

Bộ tượng Tam Thế Phật: với ba pho tượng Phật: Quá khứ, Hiện tại, Vị lai (còn gọi là Tam Thân: Pháp thân, Ứng thân và Hóa thân) ngồi ở tư thế đẳng thiên, y phục minh đơn giản che kín cơ thể. 

Bộ tượng Di Đà Tam Tôn: gồm tượng đức Phật  A-di-đà , đứng hai bên là  Quan Âm Bồ Tát  và  Đại Thế Chí Bồ Tát . 

Tượng Tuyết Sơn miêu đức Phật  Thích ca  trong thời kỳ tu khổ hạnh: mỗi ngày ăn một hạt kê, một hạt vừng, tự hành xác để vươn lên thế giới tinh thần sáng láng. Tượng màu đen bảo vệ áo cà sa lấp lánh, tay chân gầy khẳng định khiu, xương nổi lên trước bước tấn. Toàn bộ cơ thể chìm trong suy tưởng, mắt trũng sâu, hướng về nội tâm. Hai bên biểu tượng Tuyết Sơn có biểu tượng A Nan Đà và Ca Diếp hầu. 

Tượng đức Phật Di Lặc biểu tượng cho vị Phật của thế giới cực lạc tương lai. Người mập mạp, ngồi xả hơi về phía sau, toàn thân rung cảm mãn mãn, sung sướng. 

Tượng Văn Thù Bồ Tát: Quá tay, chân đi đất, các ngón chân ấn móng xuống mặt bệ. 

Tượng Phổ Hiền Bồ Tát: đấm tay trước đấm, mặt sáng rộng nổi lên trên tấm thân phủ đầy y phục. 

Tượng Bát bộ Kim Cương, có thể thực hiện trình độ nghệ thuật gắn kết gỗ và cách bố cục rất cao, chuyển động của một thân thể mang giáp trụ trong các thế võ thuật. 

Mười sáu pho tượng Tổ với phong cách thực hiện đó là: Ưu-ba-cầu-đa, Đê-đa-ca, Di-trà-ca, Bà-tu-mật, Phật-đà Nan-đề, Phục-đa-mật-đa, Hiếp Tôn giả, Thương Na Hòa Tu, Mã Minh, Ca-tỳ-ma-la, Long Thụ Tôn giả, La-hầu-la-đa, Tăng-già Nan-đề, Già-gia-xá-đa, Cưu-ma-la-đa, Chà-dạ-đa. Theo một danh sách tên các vật thể được tượng trưng trong một tài liệu còn lưu trữ ở chùa thì đây là biểu tượng của các vị trí tổ hợp  Ấn Độ  trong quan niệm của  Thiền tông Trung Quốc .

-------------

(Trích từ VÀO CHÙA LỄ PHẬT: NHỮNG ĐIỀU CẦN BIẾT của Đặng Xuân Xuyến ; Nhà xuất bản Văn hóa Thông tin 2006)